2021-11-01 14:57:56
本文關鍵字：質量流量控制器

　　質量流量控制器具備流量測量和流量控制兩種功能，流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。其原理是利用氣流流過毛細管造成毛細管上下游溫差從而檢測、控制氣體質量流量。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。那流量控制器的工作壓差范圍是什么概念呢？

　　質量流量控制器中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。用戶使用流量控制器時，無論用戶工作的反應室是高壓還是真空，應做到使控制器進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，也要求氣壓要相對穩(wěn)定。這是因為控制器的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa，若壓差高于0.3MPa，有可能關閉時流量不能小于2%F.S；若低于0.1 MPa，有可能控制達不到滿量程值。